實驗室凈化工程中潔凈車間的溫度空氣相對濕度主要依據：
實驗室凈化工程中潔凈車間的溫度空氣相對濕度主要是依據加工工藝規定來確立，但在充分考慮加工工藝規定的標準下，應充分考慮人的舒適感感。伴隨著著實驗室凈化工程中潔凈車間氣體潔凈室等級規定的提升，出現了加工工藝對溫度空氣相對濕度的規定也愈來愈嚴的發展方向。試驗室潔凈工程實際加工工藝對溫度的規定之后也要例舉，但做為總的標準看，因為加工精度愈來愈細致，因此對溫度起伏范疇的規定愈來愈小。比如在產業化集成電路芯片集成ic芯片生產生產加工的光刻工藝曝出加工工藝中，做為掩膜板原材料的夾層玻璃與硅單晶的線膨脹系數的差規定愈來愈小。直徑100um的硅單晶，溫度升高1度，造成了0.24um線形膨漲，因此盡可能有±0.1度的溫控，除此之外規定氣體空氣濕度值一般較低，由于人流汗之后，對商品將有環境污染，十分是怕鈉的半導體元器件生產流水線，實驗室凈化工程中潔凈車間溫度不適合超出25度，氣體空氣濕度過高造成的難題許多。
